自动变焦三维表面测量仪InfiniteFocus G5的突出特点：

一款全方位的3D光学测量仪
InfiniteFocus G5整合了微型三坐标测量系统和表面粗糙度测量系统所有的功能。
万能和高效
LED环形灯的设计，使表面测量的范围几乎不受限制。
高分辨，高可重复性和可溯源
即使对于复杂样品表面，仍可以获得高达10纳米的垂直分辨率
高测量速度
InfiniteFocus的测量速度可以达到170万点/秒。
模块化和可扩展性
新的功能可以很容易通过扩展测量模式整合全自动
测量简单且自动化程度高，如自动更换物镜等

特性

非接触

范围式扫描

同时量测结构及粗糙度

更细微及多元的量测精度

更大的量测范围

搭配转台，拓展至五轴测量：

几何测量-Geometry Measurement

1.铣削/磨削后的几何形状

2.加工准确性分析

3.色彩对比分析刀具过切与余量

4.杆型刀铣削/磨削后几何形状

5.任意截面测量刀具的前角，梁腹，螺旋角，钻尖角等数值

倒角测量-Chamfer Measurement

1.光滑平面与破屑面倒角变化量测

2.边缘断裂处，倒角宽度、角度、断裂宽度、距离

破屑测量-Chipping Measurement

1.碎屑总深度、长度、体积

2.边缘缺陷立体化

3.符合ISO 4287参数（RA、RQ、RZ、RP、RV…）

自动变焦三维表面测量仪InfiniteFocus G5的主要技术参数：

位移范围（X轴、Y轴、Z轴）：100mm×100mm×100mm
样品表面结构：表面形貌Ra＞9nm，Lc=2μm，取决于表面结构
最大样品高度：100mm ～ 345mm
最大样品重量：30kg
最佳水平分辨率：0.44μm
最佳垂直分辨率：10nm
最大扫描高度：22.5mm
最大扩展视野范围：10000mm²
最大单一方向扫描范围：100mm
测量速度:170万个测量点/秒
最小测量高度：0.01μm
最大测量高度：22.5mm
最大测量范围：10000mm²
最大测量形貌长度：100mm
最小可重复性：0.001μm
最小测量粗糙度（Ra）：0.03μm
最小测量粗糙度（Sa）：0.015μm
最小测量半径：1μm
最小测量垂直角度：20°
最大测量倾斜角度：87°

自动变焦三维表面测量仪InfiniteFocus G5的主要技术参数：

位移范围（X轴、Y轴、Z轴）：100mm×100mm×100mm
样品表面结构：表面形貌Ra＞9nm，Lc=2μm，取决于表面结构
最大样品高度：100mm ～ 345mm
最大样品重量：30kg
最佳水平分辨率：0.44μm
最佳垂直分辨率：10nm
最大扫描高度：22.5mm
最大扩展视野范围：10000mm²
最大单一方向扫描范围：100mm
测量速度:170万个测量点/秒
最小测量高度：0.01μm
最大测量高度：22.5mm
最大测量范围：10000mm²
最大测量形貌长度：100mm
最小可重复性：0.001μm
最小测量粗糙度（Ra）：0.03μm
最小测量粗糙度（Sa）：0.015μm
最小测量半径：1μm
最小测量垂直角度：20°
最大测量倾斜角度：87°